氦檢漏儀是一種以氦氣作為示蹤氣體,專門用于檢測有氣密性要求的產(chǎn)品密封性的質(zhì)譜分析儀器。主要是基于質(zhì)譜分析技術(shù)。它采集被檢件中的氣體并將其電離,利用不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),通過磁偏轉(zhuǎn)分離原理檢出氦離子。通過測量氦離子流來確定漏孔的大小及位置。
1、高靈敏度:能夠檢測到極小的泄漏率,例如可達(dá)到10^-12 mbar·L/s的水平,這對于確保高標(biāo)準(zhǔn)的密封性能至關(guān)重要。
2、專用性強(qiáng):氦氣由于其原子尺寸小、化學(xué)性質(zhì)不活潑以及在大氣中含量極低的特性,成為理想的檢漏氣體。
3、快速響應(yīng):能快速響應(yīng)泄漏變化,使得檢測過程效率高,節(jié)省時(shí)間。
4、多種檢測模式:根據(jù)不同的檢測需求,氦檢漏儀可能支持吸槍模式(用吸槍在疑似泄漏處吸入氣體進(jìn)行檢測)和累積模式(在密閉空間內(nèi)積累氦氣后檢測)。
5、易于操作:通常設(shè)計(jì)有用戶友好的界面,便于操作者設(shè)定參數(shù)、啟動檢測程序及解讀結(jié)果。
6、自動化程度高:可以編程控制檢測過程,實(shí)現(xiàn)自動化檢測,減少人為操作誤差。
7、寬泛的應(yīng)用領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、汽車制造、航空航天、化工管道及空調(diào)制冷等多個(gè)領(lǐng)域。
8、環(huán)境因素考慮:雖然使用氦氣作為檢漏介質(zhì),但氦檢漏儀的設(shè)計(jì)也會考慮到環(huán)境保護(hù)和經(jīng)濟(jì)成本,盡量減少氦氣的使用量。
9、多功能集成:可能與其他檢測功能集成,如壓力衰減檢測等,提供一體化解決方案。
10、數(shù)據(jù)記錄與輸出:具備數(shù)據(jù)記錄功能,可將檢測結(jié)果保存和輸出,便于跟蹤記錄和質(zhì)量控制。